薄膜沉积设备的制造

MVSystems 公司设计,制造和提供各类单腔室和多腔室薄膜沉积设备。另外,根据用户的需求,各种PECVD,HWCVD,和PVD腔室可以单个制造,也可配备到现有的团簇型(星型)或是直线型沉积系统。MVSystems具有制造用于各类研发,中试以及小型生产设备的强大能力和丰富经验,所生产的设备已成功地使用在全世界23个国家的大学,研究院所和公司。我们公司的工程部门可最大限度地为用户着想, 以使用户们获取他们最需要的且价格合适的设备。

作为设备销售的一部分,我们还能向用户保证薄膜半导体材料具有最佳光电子性能参数。这些材料包括非晶硅,纳米硅(微晶硅),介质材料(比如氮化硅和氧化硅)和透明导电膜。