Servicios [Contratos de I&D y Servicios por Contrato]:

Las instalaciones y el personal de MVSystems están equipados para desarrollar una gama de tecnologías de películas delgadas.

Contratos de Investigación y Desarrollo (I&D): conducido por y para universidades, agencias del Estado, y compañías alrededor del mundo.

Servicio por Contrato: usando nuestro sistema computarizado de PECVD/Sputtering de área grande, MVSystems puede suplir de materiales de películas delgadas y dispositivos, que incluyen:

• Silicio amorfo – intrínseco y dopado (tipo n+ y p+)
• Silicio nano (o micro-) cristalino (intrínseco y dopado)
• Dieléctricos (SiNx, SiOx)
• Óxidos conductores transparentes (ITO, AZO)
• Celdas solares, TFT, dispositivos de visualización y memoria, etc.

Instalaciones: Los equipos localizados en nuestro complejo incluyen sistemas de detección de vanguardia para gases peligrosos como el silano, y también sistemas de control de efluentes.

(1) Sistema de deposición de área grande (tamaño del substrato: 30 cm x 40 cm): Seis zonas PECVD (con fuentes de poder RF y VHF, y modulación de pulsos); doble sistema de “sputtering”(con fuentes de poder DC y RF); y, elevador con parqueo de cartuchos. Completamente controlado por computadora.

(2) Sistema de evaporación térmica para metalización.

(3) Sistema computarizado para mediciones de dispositivos bajo Global AM1.5. Mide parámetros I-V claros y oscuros, y respuesta QE.

(4)Sistema de medición energía de activación conductora.

(5) Espectroscopia infrarroja.

(6) Medición de transmisión y reflexión de luz visible y ultravioleta, con capacidad de integración esférica.

(7) Elipsómetro para medición de índices de refracción y espesor de películas.

(8) Profilómetro para medir espesor de películas.

(9) Espectrómetro de emisión óptica para monitorear el procesamiento vía plasma en vivo.

(10) Otras fuentes de luz, filtros, osciloscopios, microscopios y equipos de laboratorio de uso general.